Los sistemas de refrigeración por nitrógeno líquido se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores y chips, incluyendo el proceso de,
- La tecnología de epitaxia de haces moleculares (MBE)
- Prueba del chip tras el empaquetado COB
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EPITAXIA DE HAZ MOLECULAR
La tecnología de epitaxia por haces moleculares (MBE) se desarrolló en la década de 1950 para preparar materiales semiconductores de película delgada mediante evaporación al vacío. Con el desarrollo de la tecnología de ultra alto vacío, su aplicación se ha extendido al campo de la ciencia de semiconductores.
HL ha detectado la demanda de sistemas de refrigeración por nitrógeno líquido para MBE, y ha organizado una infraestructura técnica para desarrollar con éxito un sistema especial de refrigeración por nitrógeno líquido para la tecnología MBE y un conjunto completo de sistemas de tuberías con aislamiento al vacío, que se ha utilizado en numerosas empresas, universidades e institutos de investigación.
Los problemas comunes de la industria de semiconductores y chips incluyen:
- Presión de nitrógeno líquido en los equipos de la terminal (MBE). Evite que la sobrecarga de presión dañe los equipos de la terminal (MBE).
- Múltiples controles de entrada y salida de líquido criogénico
- Temperatura del nitrógeno líquido en el equipo terminal
- Una cantidad razonable de emisiones de gases criogénicos
- Conmutación (automática) de líneas principales y secundarias
- Ajuste de presión (reducción) y estabilidad del VIP
- Limpieza del tanque para eliminar posibles impurezas y residuos de hielo.
- Tiempo de llenado del equipo de líquidos de la terminal
- Preenfriamiento de tuberías
- Resistencia a líquidos en el sistema VIP
- Control de la pérdida de nitrógeno líquido durante el servicio discontinuo del sistema
La tubería con aislamiento al vacío (VIP) de HL se fabrica conforme al código de tuberías a presión ASME B31.3. Nuestra experiencia en ingeniería y capacidad de control de calidad garantizan la eficiencia y la rentabilidad de la planta del cliente.
SOLUCIONES
HL Cryogenic Equipment ofrece a sus clientes el sistema de tuberías con aislamiento al vacío para cumplir con los requisitos y condiciones de la industria de semiconductores y chips:
1. Sistema de gestión de calidad: Código de tuberías a presión ASME B31.3.
2. Un separador de fases especial con múltiples entradas y salidas de líquido criogénico con función de control automático cumple con los requisitos de emisión de gases, nitrógeno líquido reciclado y temperatura del nitrógeno líquido.
3. Un diseño de escape adecuado y oportuno garantiza que el equipo terminal funcione siempre dentro del valor de presión diseñado.
4. La barrera gas-líquido se coloca en la tubería vertical de aislamiento al final de la tubería de aislamiento. Esta barrera utiliza el principio de sellado hermético para bloquear el paso del calor desde el extremo de la tubería de aislamiento hacia el interior de la tubería, reduciendo así eficazmente la pérdida de nitrógeno líquido durante el funcionamiento discontinuo e intermitente del sistema.
5.VI Tuberías controladas por la serie de válvulas aisladas al vacío (VIV): Incluye válvula de cierre neumática aislada al vacío, válvula de retención aislada al vacío, válvula reguladora aislada al vacío, etc. Los distintos tipos de VIV se pueden combinar modularmente para controlar la tubería de aislamiento al vacío (VIP) según se requiera. La VIV se integra con la prefabricación de la VIP en fábrica, sin necesidad de tratamiento de aislamiento en obra. La unidad de sellado de la VIV se puede reemplazar fácilmente. (HL acepta la marca de válvula criogénica designada por el cliente y fabrica válvulas aisladas al vacío. Es posible que algunas marcas y modelos de válvulas no se puedan convertir en válvulas aisladas al vacío).
6. Limpieza: si existen requisitos adicionales de limpieza de la superficie del tubo interior, se sugiere que los clientes elijan tuberías de acero inoxidable BA o EP como tuberías interiores VIP para reducir aún más los derrames de acero inoxidable.
7. Filtro con aislamiento al vacío: Elimina las posibles impurezas y residuos de hielo del tanque.
8. Tras varios días o periodos prolongados de parada o mantenimiento, es fundamental preenfriar las tuberías de aislamiento y los equipos terminales antes de introducir el líquido criogénico, para evitar la formación de escoria de hielo tras su entrada directa. La función de preenfriamiento debe considerarse en el diseño, ya que proporciona una mayor protección a los equipos terminales y a los componentes auxiliares de las tuberías de aislamiento, como las válvulas.
9. Adecuado para sistemas de tuberías (flexibles) con aislamiento al vacío dinámico y estático.
10. Sistema de tuberías flexibles con aislamiento dinámico al vacío: Consta de mangueras y/o tuberías flexibles con aislamiento al vacío, mangueras de conexión, sistema de válvulas con aislamiento al vacío, separadores de fase y sistema de bomba de vacío dinámica (que incluye bombas de vacío, electroválvulas y manómetros, entre otros). La longitud de cada manguera flexible con aislamiento al vacío se puede personalizar según las necesidades del usuario.
11. Diversos tipos de conexión: Se puede seleccionar entre conexión de bayoneta al vacío (VBC) y conexión soldada. El tipo VBC no requiere tratamiento aislante in situ.
