Los sistemas de refrigeración con nitrógeno líquido se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores y chips, incluido el proceso de,
- La tecnología de epitaxia de haz molecular (MBE)
- La prueba del chip después del paquete COB.
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EPITAXIA DE HAZ MOLECULAR
La tecnología de epitaxia de haz molecular (MBE) se desarrolló en la década de 1950 para preparar materiales semiconductores de película delgada mediante tecnología de evaporación al vacío. Con el desarrollo de la tecnología de vacío ultra alto, la aplicación de la tecnología se ha extendido al campo de la ciencia de los semiconductores.
HL ha notado la demanda del sistema de enfriamiento de nitrógeno líquido MBE, organizó la columna vertebral técnica para desarrollar con éxito un sistema de enfriamiento de nitrógeno líquido MBE especial para la tecnología MBE y un conjunto completo de sistemas de tuberías con aislamiento al vacío, que se han utilizado en muchas empresas, universidades e institutos de investigación. .
Los problemas comunes de la industria de semiconductores y chips incluyen,
- La presión del nitrógeno líquido en los equipos terminales (MBE). Evite que la sobrecarga de presión dañe el equipo terminal (MBE).
- Múltiples controles de entrada y salida de líquido criogénico
- La temperatura del nitrógeno líquido en el equipo terminal
- Una cantidad razonable de emisiones de gases criogénicos
- Conmutación (automática) de líneas principales y secundarias
- Ajuste de presión (reducción) y estabilidad de VIP
- Limpieza de posibles impurezas y residuos de hielo del tanque
- Tiempo de Llenado del Equipo Terminal de Líquido
- Preenfriamiento de tuberías
- Resistencia a líquidos en el sistema VIP
- Controlar la pérdida de nitrógeno líquido durante el servicio discontinuo del sistema
La tubería aislada al vacío (VIP) de HL está construida según el código de tubería de presión ASME B31.3 como estándar. Experiencia en ingeniería y capacidad de control de calidad para garantizar la eficiencia y rentabilidad de la planta del cliente.
SOLUCIONES
HL Cryogenic Equipment ofrece a los clientes el sistema de tuberías aisladas al vacío para cumplir con los requisitos y condiciones de la industria de semiconductores y chips:
1.Sistema de Gestión de Calidad: Código de Tuberías de Presión ASME B31.3.
2.Un separador de fases especial con múltiples entradas y salidas de líquido criogénico con función de control automático cumple con los requisitos de emisión de gases, nitrógeno líquido reciclado y temperatura del nitrógeno líquido.
3. Un diseño de escape adecuado y oportuno garantiza que el equipo terminal siempre funcione dentro del valor de presión diseñado.
4.La barrera gas-líquido se coloca en la tubería VI vertical al final de la tubería VI. La barrera gas-líquido utiliza el principio de sellado de gas para bloquear el calor desde el extremo de la tubería VI hacia la tubería VI y reducir eficazmente la pérdida de nitrógeno líquido durante el servicio discontinuo e intermitente del sistema.
5. Tubería VI controlada por la serie de válvulas aisladas al vacío (VIV): incluye válvula de cierre (neumática) aislada al vacío, válvula de retención aislada al vacío, válvula reguladora aislada al vacío, etc. Se pueden combinar varios tipos de VIV de forma modular para controlar el VIP como requerido. VIV se integra con la prefabricación VIP en fábrica, sin tratamiento aislante in situ. La unidad de sellado de VIV se puede reemplazar fácilmente. (HL acepta la marca de válvula criogénica designada por los clientes y luego fabrica válvulas aisladas al vacío. Es posible que algunas marcas y modelos de válvulas no se puedan convertir en válvulas aisladas al vacío).
6.Limpieza, si existen requisitos adicionales para la limpieza de la superficie del tubo interior. Se sugiere que los clientes elijan tuberías de acero inoxidable BA o EP como tuberías interiores VIP para reducir aún más los derrames de acero inoxidable.
7.Filtro aislado al vacío: Limpie las posibles impurezas y residuos de hielo del tanque.
8. Después de unos días o más de parada o mantenimiento, es muy necesario preenfriar la tubería VI y el equipo terminal antes de ingresar el líquido criogénico, para evitar escoria de hielo después de que el líquido criogénico ingrese directamente a la tubería VI y el equipo terminal. La función de preenfriamiento debe considerarse en el diseño. Proporciona una mejor protección para equipos terminales y equipos de soporte de tuberías VI, como válvulas.
9. Adecuado para sistemas de tuberías (flexibles) aislados al vacío tanto dinámicos como estáticos.
10.Sistema de tuberías (flexibles) con aislamiento dinámico al vacío: consta de mangueras flexibles VI y/o tubería VI, mangueras puente, sistema de válvulas aisladas al vacío, separadores de fase y sistema de bomba de vacío dinámico (incluidas las bombas de vacío, válvulas de solenoide y vacuómetros, etc.). ). La longitud de una sola manguera flexible VI se puede personalizar según los requisitos del usuario.
11.Varios tipos de conexión: Se pueden seleccionar el tipo de conexión de bayoneta de vacío (VBC) y la conexión soldada. El tipo VBC no necesita tratamiento de aislamiento in situ.
