Casos y soluciones de semiconductores y chips

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Los sistemas de enfriamiento de nitrógeno líquido se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores y chips, incluido el proceso de,

  • La tecnología de la epitaxia del haz molecular (MBE)
  • La prueba del chip después del paquete COB

Productos relacionados

Epitaxia de haz molecular

La tecnología de la epitaxia del haz molecular (MBE) se desarrolló en la década de 1950 para preparar materiales de película delgada de semiconductores utilizando tecnología de evaporación de vacío. Con el desarrollo de la tecnología de vacío ultra alta, la aplicación de la tecnología se ha extendido al campo de la ciencia de los semiconductores.

HL ha notado la demanda del sistema de enfriamiento de nitrógeno líquido MBE, la red troncal organizada organizada para desarrollar con éxito un sistema especial de gallinero de nitrógeno líquido MBE para la tecnología MBE y un conjunto completo de sistemas de tuberías aisladas de vacío, que se ha utilizado en muchas empresas, universidades e institutos de investigación .

Los problemas comunes de la industria de semiconductores y chips incluyen,

  • La presión del nitrógeno líquido en el equipo terminal (MBE). Evite que la sobrecarga de presión se dañe el equipo del terminal (MBE).
  • Múltiples controles de entrada y salida de líquido criogénico
  • La temperatura del nitrógeno líquido en equipos terminales
  • Una cantidad razonable de emisiones de gas criogénico
  • (Automático) Cambio de líneas principales y de rama
  • Ajuste de presión (reductora) y estabilidad de VIP
  • Limpiar las posibles impurezas y los residuos de hielo del tanque
  • Tiempo de llenado del equipo líquido terminal
  • Pre -endurecimiento de la tubería
  • Resistencia líquida en el sistema VIP
  • Controlar la pérdida de nitrógeno líquido durante el servicio discontinuo del sistema

La tubería aislada de vacío (VIP) de HL está construida para el código de tuberías de presión ASME B31.3 como estándar. Experiencia de ingeniería y capacidad de control de calidad para garantizar la eficiencia y la rentabilidad de la planta del cliente.

Soluciones

El equipo criogénico HL proporciona a los clientes el sistema de tuberías aisladas de vacío para cumplir con los requisitos y condiciones de la industria de semiconductores y chips:

1. Sistema de gestión de calidad: ASME B31.3 Código de tubería de presión.

2. Un separador de fases especial con múltiples entradas y salida de líquido criogénico con función de control automático cumple con el requisito de emisión de gas, nitrógeno líquido reciclado y temperatura de nitrógeno líquido.

3. El diseño de escape académico y oportuno asegura que el equipo terminal siempre funcione dentro del valor de presión diseñado.

4. La barrera de gas líquido se coloca en la tubería VI vertical al final de la tubería VI. La barrera de gas-líquido utiliza el principio del sello de gas para bloquear el calor desde el extremo de la tubería VI en la tubería VI, y reducir efectivamente la pérdida de nitrógeno líquido durante el servicio discontinuo e intermitente del sistema.

5. Tubería VI controlada por la válvula de cierre de la válvula aislada de vacío (VIV): incluida la válvula de cierre aislada (neumática) de vacío (neumática), la válvula de control aislada de vacío, la válvula reguladora aislada de vacío, etc. Varios tipos de VIV pueden ser modulares combinados para controlar el VIP como requerido. VIV está integrado con la prefabricación VIP en el fabricante, sin tratamiento con aislamiento en el sitio. La unidad de sello de VIV se puede reemplazar fácilmente. (HL acepta la marca de la válvula criogénica designada por los clientes, y luego hace válvulas aisladas de vacío por HL. Algunas marcas y modelos de válvulas pueden no poder convertirse en válvulas de vacío aisladas).

6. Clima, si hay requisitos adicionales para la limpieza de la superficie del tubo interno. Se sugiere que los clientes elijan tuberías de acero inoxidable BA o EP como tuberías internos VIP para reducir aún más el derrame de acero inoxidable.

7. Filtro aislado de vacuo: limpie las posibles impurezas y los residuos de hielo del tanque.

8. Después de un pare o mantenimiento más o más largo, es muy necesario preacolear la tubería VI y el equipo terminal antes de que se ingrese el líquido criogénico, para evitar la escoria de hielo después de que el líquido criogénico ingrese directamente en la tubería VI y el equipo terminal. La función de precuminación debe considerarse en el diseño. Proporciona una mejor protección para el equipo terminal y los equipos de soporte de tuberías VI, como las válvulas.

9. Suit para el sistema de tuberías de vacío dinámico y estático aislante (flexible).

10. Sistema de tuberías de vacío dinámico aislado (flexible): consiste en mangueras flexibles VI y/o tubería VI, mangueras de puta, sistema de válvulas aisladas de vacío, separadores de fase y sistema de bomba de vacío dinámico (incluidas las bombas de vacío, las válvulas solenoides y los medidores de vacío, etc. ). La longitud de la manguera flexible VI única se puede personalizar de acuerdo con los requisitos del usuario.

11. Varios tipos de conexión: Se pueden seleccionar el tipo de conexión de bayoneta de vacío (VBC) y conexión soldada. El tipo VBC no necesita tratamiento aislado en el sitio.


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