Los sistemas de refrigeración por nitrógeno líquido se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores y chips, incluido el proceso de,
- La tecnología de epitaxia de haces moleculares (MBE)
- Prueba del chip después del encapsulado COB
Productos relacionados
Serie de tuberías con aislamiento al vacío
Serie de mangueras flexibles con aislamiento al vacío
Sistema de bomba de vacío dinámica
Serie de separadores de fase con aislamiento al vacío
Serie de válvulas con aislamiento al vacío
Equipos de soporte para sistemas de tuberías
EPITAXIA DE HAZ MOLECULAR
La tecnología de epitaxia de haces moleculares (MBE) se desarrolló en la década de 1950 para preparar películas delgadas semiconductoras mediante la técnica de evaporación al vacío. Con el desarrollo de la tecnología de ultra alto vacío, su aplicación se ha extendido al campo de la ciencia de los semiconductores.
HL ha detectado la demanda de sistemas de refrigeración por nitrógeno líquido MBE y ha organizado la infraestructura técnica necesaria para desarrollar con éxito un sistema especial de refrigeración por nitrógeno líquido MBE para la tecnología MBE y un conjunto completo de sistemas de tuberías con aislamiento al vacío, que se han utilizado en numerosas empresas, universidades e institutos de investigación.
Los problemas comunes de la industria de semiconductores y chips incluyen:
- Presión de nitrógeno líquido en equipos terminales (MBE). Evitar que la sobrecarga de presión dañe los equipos terminales (MBE).
- Múltiples controles de entrada y salida de líquidos criogénicos
- La temperatura del nitrógeno líquido en los equipos terminales
- Una cantidad razonable de emisiones de gases criogénicos
- Conmutación (automática) de líneas principales y ramales
- Ajuste de presión (reducción) y estabilidad del VIP
- Eliminar las posibles impurezas y los residuos de hielo del tanque.
- Tiempo de llenado del equipo de líquidos de la terminal
- Preenfriamiento de tuberías
- Resistencia a líquidos en el sistema VIP
- Controlar la pérdida de nitrógeno líquido durante el funcionamiento discontinuo del sistema.
La tubería con aislamiento al vacío (VIP) de HL se fabrica conforme al código ASME B31.3 para tuberías a presión. Su experiencia en ingeniería y su capacidad de control de calidad garantizan la eficiencia y la rentabilidad de la planta del cliente.
SOLUCIONES
HL Cryogenic Equipment proporciona a sus clientes el sistema de tuberías con aislamiento al vacío para cumplir con los requisitos y las condiciones de la industria de semiconductores y chips:
1. Sistema de gestión de calidad: Código de tuberías a presión ASME B31.3.
2. Un separador de fases especial con múltiples entradas y salidas de líquido criogénico con función de control automático cumple con los requisitos de emisión de gases, nitrógeno líquido reciclado y temperatura del nitrógeno líquido.
3. Un diseño de escape adecuado y oportuno garantiza que los equipos terminales funcionen siempre dentro del valor de presión diseñado.
4. La barrera gas-líquido se coloca en el extremo del tubo VI vertical. Esta barrera utiliza el principio de sellado de gas para impedir que el calor se transmita desde el extremo del tubo VI hacia el interior de la tubería, reduciendo así eficazmente la pérdida de nitrógeno líquido durante el funcionamiento discontinuo e intermitente del sistema.
5.VI Tuberías controladas por la serie de válvulas con aislamiento al vacío (VIV): Incluye válvulas de cierre (neumáticas) con aislamiento al vacío, válvulas de retención con aislamiento al vacío, válvulas reguladoras con aislamiento al vacío, etc. Se pueden combinar modularmente varios tipos de VIV para controlar la VIP según sea necesario. La VIV se integra con la prefabricación de la VIP en la fábrica, sin necesidad de tratamiento de aislamiento in situ. La unidad de sellado de la VIV se puede reemplazar fácilmente. (HL acepta la marca de válvula criogénica designada por los clientes y luego fabrica válvulas con aislamiento al vacío. Es posible que algunas marcas y modelos de válvulas no se puedan fabricar con aislamiento al vacío).
6. Limpieza: si existen requisitos adicionales para la limpieza de la superficie del tubo interior, se recomienda a los clientes que elijan tubos de acero inoxidable BA o EP como tubos interiores VIP para reducir aún más los derrames de acero inoxidable.
7. Filtro con aislamiento al vacío: Elimina las posibles impurezas y los residuos de hielo del depósito.
8. Tras varios días o periodos prolongados de parada o mantenimiento, es fundamental preenfriar las tuberías VI y los equipos terminales antes de introducir el líquido criogénico, para evitar la formación de escoria de hielo al entrar directamente en dichas tuberías y equipos. La función de preenfriamiento debe considerarse en el diseño, ya que proporciona una mayor protección a los equipos terminales y a los componentes auxiliares de las tuberías VI, como las válvulas.
9. Adecuado para sistemas de tuberías con aislamiento al vacío (flexibles) tanto dinámicos como estáticos.
10. Sistema de tuberías flexibles con aislamiento al vacío dinámico: Consta de mangueras y/o tuberías con aislamiento al vacío, mangueras de conexión, sistema de válvulas con aislamiento al vacío, separadores de fase y sistema de bomba de vacío dinámico (que incluye bombas de vacío, electroválvulas y manómetros de vacío, etc.). La longitud de cada manguera flexible con aislamiento al vacío se puede personalizar según las necesidades del usuario.
11. Diversos tipos de conexión: Se puede seleccionar la conexión de bayoneta al vacío (VBC) o la conexión soldada. La conexión VBC no requiere tratamiento de aislamiento in situ.
