Los sistemas de enfriamiento de nitrógeno líquido se utilizan ampliamente en la industria de semiconductores y chips, incluido el proceso de,
- La tecnología de Epitaxia de Haz Molecular (MBE)
- La prueba del chip después del paquete COB
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EPITAXIA DE HAZ MOLECULAR
La tecnología de epitaxia de haz molecular (MBE) se desarrolló en la década de 1950 para preparar materiales semiconductores de película delgada utilizando la tecnología de evaporación al vacío.Con el desarrollo de la tecnología de ultra alto vacío, la aplicación de la tecnología se ha extendido al campo de la ciencia de los semiconductores.
HL ha notado la demanda del sistema de enfriamiento de nitrógeno líquido MBE, organizó la columna vertebral técnica para desarrollar con éxito un sistema de enfriamiento de nitrógeno líquido MBE especial para la tecnología MBE y un conjunto completo de sistema de tuberías aisladas al vacío, que se ha utilizado en muchas empresas, universidades e institutos de investigación. .
Los problemas comunes de la industria de semiconductores y chips incluyen,
- La presión del nitrógeno líquido en el equipo terminal (MBE).Evite la sobrecarga de presión por daños en el equipo terminal (MBE).
- Múltiples controles de entrada y salida de líquidos criogénicos
- La temperatura del nitrógeno líquido en el equipo terminal
- Una cantidad razonable de emisiones de gases criogénicos
- Conmutación (automática) de líneas principales y secundarias
- Ajuste de presión (reducción) y estabilidad de VIP
- Limpieza de posibles impurezas y residuos de hielo del tanque
- Tiempo de Llenado del Equipo Terminal de Líquidos
- Preenfriamiento de tuberías
- Resistencia a líquidos en sistema VIP
- Pérdida de control de nitrógeno líquido durante el servicio discontinuo del sistema
La tubería aislada al vacío (VIP) de HL está construida según el código de tubería de presión ASME B31.3 como estándar.Experiencia en ingeniería y capacidad de control de calidad para garantizar la eficiencia y rentabilidad de la planta del cliente.
SOLUCIONES
HL Cryogenic Equipment proporciona a los clientes el sistema de tuberías aisladas al vacío para cumplir con los requisitos y condiciones de la industria de chips y semiconductores:
1. Sistema de gestión de calidad: ASME B31.3 Código de tuberías a presión.
2.Un separador de fase especial con entrada y salida de líquido criogénico múltiple con función de control automático cumple con los requisitos de emisión de gas, nitrógeno líquido reciclado y temperatura del nitrógeno líquido.
3. El diseño de escape adecuado y oportuno garantiza que el equipo terminal siempre funcione dentro del valor de presión diseñado.
4. La barrera gas-líquido se coloca en la tubería VI vertical al final de la tubería VI.La barrera gas-líquido utiliza el principio de sello de gas para bloquear el calor desde el extremo de la tubería VI hacia la tubería VI, y reduce efectivamente la pérdida de nitrógeno líquido durante el servicio discontinuo e intermitente del sistema.
5. Tubería VI controlada por la serie de válvulas aisladas al vacío (VIV): incluye válvula de cierre (neumática) aislada al vacío, válvula de retención aislada al vacío, válvula reguladora aislada al vacío, etc. Varios tipos de VIV se pueden combinar modularmente para controlar el VIP como requerido.VIV se integra con la prefabricación VIP en el fabricante, sin tratamiento aislado en el sitio.La unidad de sellado de VIV se puede reemplazar fácilmente.(HL acepta la marca de válvula criogénica designada por los clientes y luego fabrica válvulas aisladas al vacío por HL. Es posible que algunas marcas y modelos de válvulas no se puedan convertir en válvulas aisladas al vacío).
6. Limpieza, si existen requisitos adicionales para la limpieza de la superficie del tubo interior.Se sugiere que los clientes elijan tuberías de acero inoxidable BA o EP como tuberías internas VIP para reducir aún más los derrames de acero inoxidable.
7. Filtro aislado al vacío: limpie las posibles impurezas y residuos de hielo del tanque.
8. Después de unos días o más de apagado o mantenimiento, es muy necesario preenfriar la tubería VI y el equipo terminal antes de que ingrese el líquido criogénico, para evitar la escoria de hielo después de que el líquido criogénico ingrese directamente a la tubería VI y el equipo terminal.La función de preenfriamiento debe considerarse en el diseño.Brinda una mejor protección para equipos terminales y equipos de soporte de tuberías VI, como válvulas.
9.Adecuado para sistemas de tuberías con aislamiento al vacío dinámico y estático (flexible).
10.Sistema de tubería (flexible) con aislamiento de vacío dinámico: consta de mangueras flexibles VI y/o tubería VI, mangueras puente, sistema de válvula aislada de vacío, separadores de fase y sistema de bomba de vacío dinámico (incluidas las bombas de vacío, las válvulas de solenoide y los manómetros de vacío, etc. ).La longitud de la manguera flexible VI individual se puede personalizar de acuerdo con los requisitos del usuario.
11. Varios tipos de conexión: se pueden seleccionar el tipo de conexión de bayoneta al vacío (VBC) y la conexión soldada.El tipo VBC no necesita tratamiento de aislamiento en el sitio.