Resumen de la epitaxia de haz molecular (MBE)
La tecnología de epitaxia de haz molecular (MBE) se desarrolló en la década de 1950 para preparar materiales semiconductores de película delgada mediante tecnología de evaporación al vacío.Con el desarrollo de la tecnología de vacío ultra alto, la aplicación de la tecnología se ha extendido al campo de la ciencia de los semiconductores.
La motivación de la investigación de materiales semiconductores es la demanda de nuevos dispositivos que puedan mejorar el rendimiento del sistema.A su vez, la nueva tecnología de materiales puede producir nuevos equipos y nueva tecnología.La epitaxia de haz molecular (MBE) es una tecnología de alto vacío para el crecimiento de la capa epitaxial (generalmente semiconductora).Utiliza el haz de calor de los átomos o moléculas fuente que impactan en el sustrato monocristalino.Las características de vacío ultraalto del proceso permiten la metalización in situ y el crecimiento de materiales aislantes en superficies semiconductoras recién desarrolladas, lo que da como resultado interfaces libres de contaminación.
Tecnología MBE
La epitaxia del haz molecular se llevó a cabo en alto vacío o ultra alto vacío (1 x 10-8Pa) ambiente.El aspecto más importante de la epitaxia del haz molecular es su baja tasa de deposición, que generalmente permite que la película crezca epitaxialmente a una velocidad de menos de 3000 nm por hora.Una tasa de deposición tan baja requiere un vacío lo suficientemente alto para lograr el mismo nivel de limpieza que otros métodos de deposición.
Para cumplir con el vacío ultra alto descrito anteriormente, el dispositivo MBE (célula Knudsen) tiene una capa de enfriamiento y el ambiente de vacío ultra alto de la cámara de crecimiento debe mantenerse utilizando un sistema de circulación de nitrógeno líquido.El nitrógeno líquido enfría la temperatura interna del dispositivo a 77 Kelvin (-196 °C).El ambiente de baja temperatura puede reducir aún más el contenido de impurezas en el vacío y proporcionar mejores condiciones para la deposición de películas delgadas.Por lo tanto, se requiere un sistema de circulación de enfriamiento de nitrógeno líquido dedicado para que el equipo MBE proporcione un suministro continuo y estable de nitrógeno líquido a -196 °C.
Sistema de circulación de enfriamiento de nitrógeno líquido
El sistema de circulación de enfriamiento de nitrógeno líquido al vacío incluye principalmente,
● tanque criogénico
● tubo con camisa de vacío principal y derivado/manguera con camisa de vacío
● Separador de fases especial MBE y tubo de escape con camisa de vacío
● varias válvulas con camisa de vacío
● barrera gas-líquido
● filtro con camisa de vacío
● sistema de bomba de vacío dinámico
● Sistema de preenfriamiento y recalentamiento de purga
HL Cryogenic Equipment Company ha notado la demanda del sistema de enfriamiento de nitrógeno líquido MBE y organizó la columna vertebral técnica para desarrollar con éxito un sistema de enfriamiento de nitrógeno líquido MBE especial para la tecnología MBE y un conjunto completo de aislamiento al vacío.edsistema de tuberías, que se ha utilizado en muchas empresas, universidades e institutos de investigación.
Equipo criogénico HL
HL Cryogenic Equipment, fundada en 1992, es una marca afiliada a Chengdu Holy Cryogenic Equipment Company en China.HL Cryogenic Equipment está comprometido con el diseño y la fabricación del sistema de tuberías criogénicas aisladas de alto vacío y los equipos de soporte relacionados.
Para más información, por favor visite la página oficialwww.hlcryo.com, o envíe un correo electrónico ainfo@cdholy.com.
Hora de publicación: 06-may-2021