Tecnología
La epitaxia por haces moleculares (MBE) es una técnica novedosa para el crecimiento de películas delgadas de alta calidad de cristales sobre sustratos cristalinos. En condiciones de ultra alto vacío, mediante un horno de calentamiento equipado con todos los componentes necesarios, se genera vapor que, a través de orificios formados tras la colimación del haz atómico o molecular, se inyecta directamente sobre el sustrato monocristalino a la temperatura adecuada. Simultáneamente, se controla el barrido del haz molecular sobre el sustrato, logrando así que las moléculas o átomos se alineen en capas cristalinas para formar una película delgada sobre el sustrato.
Para el correcto funcionamiento de los equipos MBE, se requiere un suministro continuo y estable de nitrógeno líquido de alta pureza, baja presión y ultralimpio a la cámara de refrigeración. Generalmente, un tanque de nitrógeno líquido tiene una presión de salida entre 0,3 MPa y 0,8 MPa. El nitrógeno líquido a -196 °C se vaporiza fácilmente durante su transporte por tubería. Si el nitrógeno líquido, con una relación gas-líquido de aproximadamente 1:700, se gasifica en la tubería, ocupará gran parte del espacio disponible para el flujo, reduciendo el caudal normal al final de la misma. Además, es probable que en el tanque de almacenamiento de nitrógeno líquido haya residuos sin limpiar. La presencia de aire húmedo en la tubería también puede generar escoria de hielo. Si estas impurezas se descargan en el equipo, pueden causar daños impredecibles.
Por lo tanto, el nitrógeno líquido del tanque de almacenamiento exterior se transporta al equipo MBE en el taller libre de polvo con alta eficiencia, estabilidad y limpieza, y a baja presión, sin nitrógeno, sin impurezas, las 24 horas sin interrupción; este sistema de control de transporte es un producto calificado.
Equipo MBE a juego
Desde 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ha estado optimizando y mejorando este sistema, colaborando con fabricantes internacionales de equipos MBE. Fabricantes como DCA y REBER mantienen relaciones de cooperación con nuestra empresa y han colaborado en numerosos proyectos.
Riber SA es un proveedor líder mundial de productos y servicios relacionados para la epitaxia de haces moleculares (MBE) en la investigación de semiconductores compuestos y aplicaciones industriales. El dispositivo MBE de Riber permite depositar capas muy finas de material sobre el sustrato con un control de alta precisión. El equipo de vacío de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) está equipado con tecnología Riber SA. El equipo más grande es el Riber 6000 y el más pequeño, el Compact 21. Se encuentra en buen estado y cuenta con la aprobación de los clientes.
DCA es líder mundial en MBE de óxidos. Desde 1993, ha llevado a cabo un desarrollo sistemático de técnicas de oxidación, calentamiento de sustratos antioxidantes y fuentes de antioxidantes. Por ello, numerosos laboratorios de referencia han optado por la tecnología de óxidos de DCA. Los sistemas MBE de semiconductores compuestos se utilizan en todo el mundo. El sistema de circulación de nitrógeno líquido VJ de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) y los equipos MBE de diversos modelos de DCA cuentan con una amplia experiencia en numerosos proyectos, como los modelos P600, R450 y SGC800, entre otros.
Tabla de rendimiento
| Instituto de Física Técnica de Shanghai, Academia China de Ciencias |
| El 11º Instituto de la Corporación de Tecnología Electrónica de China |
| Instituto de Semiconductores, Academia China de Ciencias |
| Huawei |
| Academia DAMO de Alibaba |
| Powertech Technology Inc. |
| Delta Electronics Inc. |
| Fotónica Everbright de Suzhou |
Fecha de publicación: 26 de mayo de 2021