El proyecto Chip MBE completado en los últimos años

Tecnología

La epitaxia del haz molecular, o MBE, es una nueva técnica para cultivar películas delgadas de alta calidad de cristales en sustratos de cristal. En condiciones de vacío ultra alta, por la estufa de calentamiento está equipada con todo tipo de componentes requeridos y generar vapor, a través de agujeros formados después de colimar el haz de haz de haz o haz molecular, inyección directa a la temperatura apropiada del sustrato de cristal único, controlando la viga molecular a El escaneo del sustrato al mismo tiempo, puede hacer las moléculas o átomos en capas de alineación de cristales para formar una película delgada en un "crecimiento" del sustrato.

Para el funcionamiento normal del equipo MBE, se requiere transportar de alta pureza, baja presión y nitrógeno líquido ultra limpio para ser transportado de forma continua y estable a la cámara de enfriamiento del equipo. En general, un tanque que proporciona nitrógeno líquido tiene una presión de salida entre 0.3MPa y 0.8MPa. Nitrógeno líquido a -196 ℃ se vaporiza fácilmente en nitrógeno durante el transporte de tuberías. Una vez que el nitrógeno líquido con una relación gas-líquido de aproximadamente 1: 700 se gasifica en la tubería, ocupará una gran cantidad de espacio de flujo de nitrógeno líquido y reducirá el flujo normal al final de la tubería de nitrógeno líquido. Además, en el tanque de almacenamiento de nitrógeno líquido, es probable que haya escombros que no se haya limpiado. En la tubería de nitrógeno líquido, la existencia de aire húmedo también conducirá a la generación de escoria de hielo. Si estas impurezas se descargan en el equipo, causará daños impredecibles al equipo.

Por lo tanto, el nitrógeno líquido en el tanque de almacenamiento exterior se transporta al equipo MBE en el taller libre de polvo con alta eficiencia, estabilidad y limpieza, y la presión baja, sin nitrógeno, sin impurezas, 24 horas sin interrupciones, dicho sistema de control de transporte es un producto calificado.

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Equipo de MBE coincidente

Desde 2005, el equipo criogénico HL (crio HL) ha estado optimizando y mejorando este sistema y cooperando con los fabricantes internacionales de equipos MBE. Los fabricantes de equipos de MBE, incluidos DCA, Reber, tienen relaciones cooperativas con nuestra empresa. Los fabricantes de equipos de MBE, incluidos DCA y Reber, han cooperado en una gran cantidad de proyectos.

Riber SA es un proveedor global líder de productos de epitaxia de haz molecular (MBE) y servicios relacionados para la investigación de semiconductores compuestos y las aplicaciones industriales. El dispositivo Riber MBE puede depositar capas muy delgadas de material en el sustrato, con controles muy altos. El equipo de vacío del equipo criogénico HL (crio HL) está equipado con Riber SA, el equipo más grande es Riber 6000 y el más pequeño es compacto 21. Está en buenas condiciones y ha sido reconocido por los clientes.

DCA es el MBE de óxido principal del mundo. Desde 1993, se ha llevado a cabo el desarrollo sistemático de técnicas de oxidación, calentamiento de sustrato antioxidante y fuentes antioxidantes. Por esta razón, muchos laboratorios líderes han elegido la tecnología de óxido DCA. Los sistemas MBE de semiconductores compuestos se utilizan en todo el mundo. El sistema circulante de nitrógeno líquido VJ de Equipo criogénico HL (HL Cryo) y el equipo MBE de múltiples modelos de DCA tienen la experiencia correspondiente en muchos proyectos, como el modelo P600, R450, SGC800, etc.

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Mesa de rendimiento

Instituto de Física Técnica de Shanghai, Academia de Ciencias de China
El 11º Instituto de la Corporación de Tecnología Electrónica de China
Instituto de Semiconductores, Academia de Ciencias de China
Huawei
Academia Alibaba Damo
PowerTech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

Tiempo de publicación: mayo 26-2021

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