Tecnología
La epitaxia de haz molecular, o MBE, es una nueva técnica para el crecimiento de películas delgadas de cristales de alta calidad sobre sustratos cristalinos. En condiciones de ultra alto vacío, mediante una estufa de calentamiento equipada con todos los componentes necesarios, se genera vapor a través de los orificios formados tras la colimación del haz atómico o molecular. La inyección directa a la temperatura adecuada del sustrato monocristalino, controlando simultáneamente el escaneo del haz molecular, permite que las moléculas o átomos en las capas de alineación cristalina formen una película delgada sobre el sustrato.
Para el funcionamiento normal de los equipos MBE, se requiere el transporte continuo y estable de nitrógeno líquido de alta pureza, baja presión y ultralimpio a la cámara de refrigeración. Generalmente, un tanque de nitrógeno líquido tiene una presión de salida de entre 0,3 MPa y 0,8 MPa. El nitrógeno líquido a -196 °C se vaporiza fácilmente durante el transporte por tuberías. Una vez gasificado en la tubería, el nitrógeno líquido, con una relación gas-líquido de aproximadamente 1:700, ocupa gran parte del espacio de flujo y reduce el flujo normal al final de la tubería. Además, es probable que en el tanque de almacenamiento de nitrógeno líquido se encuentren residuos sin limpiar. En la tubería de nitrógeno líquido, la presencia de aire húmedo también genera escoria de hielo. Si estas impurezas se descargan en el equipo, pueden causar daños impredecibles.
Por lo tanto, el nitrógeno líquido en el tanque de almacenamiento al aire libre se transporta al equipo MBE en el taller libre de polvo con alta eficiencia, estabilidad y limpieza, y baja presión, sin nitrógeno, sin impurezas, 24 horas ininterrumpidas, dicho sistema de control de transporte es un producto calificado.



Equipo MBE a juego
Desde 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ha optimizado y mejorado este sistema y colaborado con fabricantes internacionales de equipos MBE. Fabricantes como DCA y REBER mantienen relaciones de cooperación con nuestra empresa. También han colaborado en numerosos proyectos.
Riber SA es un proveedor líder mundial de productos de epitaxia de haces moleculares (MBE) y servicios relacionados para la investigación de semiconductores compuestos y aplicaciones industriales. El dispositivo Riber MBE puede depositar capas muy finas de material sobre el sustrato con un control muy preciso. El equipo de vacío de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) está equipado con Riber SA. El equipo más grande es el Riber 6000 y el más pequeño, el Compact 21. Se encuentra en buen estado y ha sido reconocido por los clientes.
El DCA es el principal sistema de oxidación de óxidos (MBE) del mundo. Desde 1993, se han desarrollado sistemáticamente técnicas de oxidación, calentamiento de sustratos antioxidantes y fuentes de antioxidantes. Por ello, numerosos laboratorios líderes han optado por la tecnología de óxidos de DCA. Los sistemas de MBE de semiconductores compuestos se utilizan en todo el mundo. El sistema de circulación de nitrógeno líquido VJ de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) y los equipos de MBE de varios modelos de DCA cuentan con la misma experiencia en numerosos proyectos, como los modelos P600, R450, SGC800, etc.

Tabla de rendimiento
Instituto de Física Técnica de Shanghái, Academia de Ciencias de China |
El 11.º Instituto de la Corporación de Tecnología Electrónica de China |
Instituto de Semiconductores, Academia China de Ciencias |
Huawei |
Academia DAMO de Alibaba |
Tecnología Powertech Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Fotónica Everbright de Suzhou |
Hora de publicación: 26 de mayo de 2021