La epitaxia de haces moleculares, o MBE, es una nueva técnica para el crecimiento de películas delgadas de alta calidad de cristales sobre sustratos cristalinos. En condiciones de ultra alto vacío, mediante un horno de calentamiento equipado con todos los componentes necesarios, se genera vapor que, a través de orificios formados tras la colimación de un haz atómico o molecular, se inyecta directamente a la temperatura adecuada del sustrato monocristalino. Al mismo tiempo, se controla el escaneo del sustrato con el haz molecular, lo que permite que las moléculas o los átomos se alineen en capas cristalinas para formar una película delgada sobre el sustrato.

Para el funcionamiento normal de los equipos MBE, se requiere el transporte continuo y estable de nitrógeno líquido de alta pureza, baja presión y ultra limpio a la cámara de enfriamiento. Generalmente, un tanque de nitrógeno líquido tiene una presión de salida de entre 0,3 MPa y 0,8 MPa. El nitrógeno líquido a -196 °C se vaporiza fácilmente durante el transporte por tubería. Una vez que el nitrógeno líquido, con una relación gas-líquido de aproximadamente 1:700, se gasifica en la tubería, ocupa una gran cantidad de espacio y reduce el flujo normal al final de la misma. Además, en el tanque de almacenamiento de nitrógeno líquido, es probable que haya residuos sin limpiar. En la tubería, la presencia de aire húmedo también genera escoria de hielo. Si estas impurezas se descargan en el equipo, pueden causar daños impredecibles.

Por lo tanto, el nitrógeno líquido del tanque de almacenamiento exterior se transporta al equipo MBE en un taller libre de polvo con alta eficiencia, estabilidad y limpieza, a baja presión, sin nitrógeno, sin impurezas y durante 24 horas ininterrumpidas; dicho sistema de control de transporte es un producto de calidad.