El proyecto Chip MBE completado en los últimos años

Tecnología

La epitaxia de haz molecular, o MBE, es una nueva técnica para cultivar películas finas de cristales de alta calidad sobre sustratos cristalinos.En condiciones de vacío ultra alto, la estufa de calentamiento está equipada con todo tipo de componentes necesarios y genera vapor, a través de los orificios formados después de colimar el haz atómico o molecular, la inyección directa a la temperatura adecuada del sustrato de cristal único, controlando el haz molecular para Al escanear el sustrato al mismo tiempo, puede hacer que las moléculas o átomos en las capas de alineación del cristal formen una película delgada sobre el "crecimiento" del sustrato.

Para el funcionamiento normal del equipo MBE, se requiere transporte continuo y estable de nitrógeno líquido de alta pureza, baja presión y ultralimpio a la cámara de enfriamiento del equipo.En general, un tanque que proporciona nitrógeno líquido tiene una presión de salida entre 0,3 MPa y 0,8 MPa. El nitrógeno líquido a -196 ℃ se vaporiza fácilmente en nitrógeno durante el transporte por tubería.Una vez que el nitrógeno líquido con una relación gas-líquido de aproximadamente 1:700 se gasifica en la tubería, ocupará una gran cantidad de espacio de flujo de nitrógeno líquido y reducirá el flujo normal al final de la tubería de nitrógeno líquido.Además, en el tanque de almacenamiento de nitrógeno líquido es probable que haya residuos que no hayan sido limpiados.En la tubería de nitrógeno líquido, la existencia de aire húmedo también dará lugar a la generación de escoria de hielo.Si estas impurezas se descargan en el equipo, causarán daños impredecibles al equipo.

Por lo tanto, el nitrógeno líquido en el tanque de almacenamiento exterior se transporta al equipo MBE en el taller libre de polvo con alta eficiencia, estabilidad y limpieza, y la baja presión, sin nitrógeno, sin impurezas, las 24 horas ininterrumpidas, dicho sistema de control de transporte es un producto calificado.

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Equipamiento MBE adecuado

Desde 2005, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ha estado optimizando y mejorando este sistema y cooperando con fabricantes internacionales de equipos MBE.Los fabricantes de equipos MBE, incluidos DCA y REBER, mantienen relaciones de cooperación con nuestra empresa.Los fabricantes de equipos MBE, entre ellos DCA y REBER, han cooperado en numerosos proyectos.

Riber SA es un proveedor líder mundial de productos de epitaxia de haces moleculares (MBE) y servicios relacionados para la investigación de semiconductores compuestos y aplicaciones industriales.El dispositivo Riber MBE puede depositar capas muy finas de material sobre el sustrato, con controles muy altos.El equipo de vacío de HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) está equipado con Riber SA. El equipo más grande es Riber 6000 y el más pequeño es Compact 21. Se encuentra en buen estado y ha sido reconocido por los clientes.

DCA es el MBE de óxido líder en el mundo.Desde 1993 se ha llevado a cabo el desarrollo sistemático de técnicas de oxidación, calentamiento de sustratos antioxidantes y fuentes de antioxidantes.Por este motivo, muchos laboratorios líderes han elegido la tecnología de óxido DCA.Los sistemas MBE de semiconductores compuestos se utilizan en todo el mundo.El sistema de circulación de nitrógeno líquido VJ del equipo criogénico HL (HL CRYO) y el equipo MBE de múltiples modelos de DCA tienen experiencia coincidente en muchos proyectos, como el modelo P600, R450, SGC800, etc.

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Tabla de rendimiento

Instituto de Física Técnica de Shanghai, Academia de Ciencias de China
El XI Instituto de la Corporación de Tecnología Electrónica de China
Instituto de Semiconductores, Academia de Ciencias de China
Huawei
Academia Alibaba DAMO
Powertech Tecnología Inc.
Delta Electronics Inc.
Fotónica siempre brillante de Suzhou

Hora de publicación: 26 de mayo de 2021